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輪廓儀
光學(xué)輪廓儀
三維測量輪廓儀

產(chǎn)品簡介
從產(chǎn)品研發(fā)到質(zhì)量控制,該系統(tǒng)可以用于從超光滑鏡面到粗糙面的各種樣品進(jìn)行表面微觀測量分析和粗糙度質(zhì)量評價。白光干涉原理。
product
產(chǎn)品分類| 品牌 | 其他品牌 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)品種類 | 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,航空航天,汽車及零部件 |
三維測量輪廓儀
三維測量輪廓儀
三維表面微觀測量及粗糙度評定廣泛應(yīng)用于精密加工、半導(dǎo)體加工、材料分析等領(lǐng)域
√ 亞納米級縱向分辨率,適合光滑表面測量分析
√ 簡單、精確、快速、可重復(fù)
√ 豐富的測量模式支持不同2D/3D測量需求
√ 表面三維粗糙度非接觸測量
√ 表面微觀三維結(jié)構(gòu)測量
√ 膜厚測量與分析
√ 顯微反射光譜測量(選)
精密光學(xué)元件,微納加工器件,金屬機加工零件,晶圓等
√ 白光干涉顯微測量原理:采用白光光源,將非相干光干涉和高分辨率顯微成像技術(shù)相結(jié)形成微觀三維輪廓,采用不同測量倍率物鏡,縱向測量分辨率可達(dá)到亞納米量級
√ 顯微光譜測量:選配光譜模塊可以實現(xiàn)表面微區(qū)光譜測量和膜厚測量功能
實測案例







