產(chǎn)品中心
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產(chǎn)品中心
納米壓印
Imprint Nano納米壓印
4英寸納米壓印機
                    
產(chǎn)品簡介
                  4英寸納米壓印機的技術與工藝特點,*性地設計和制備工作于低真空環(huán)境下,結合正負壓可控調節(jié)并利用壓縮空氣作為壓印驅動力的,通過壓力傳導裝置、緩沖與勻壓、壓力調節(jié)控制裝置等手段實現(xiàn)平穩(wěn)可靠可控的壓印過程,借助于多種靈活的自動調節(jié)裝置的巧妙設計與運用,實現(xiàn)壓印中的自動找平調控,以保證模板納米圖案均勻精確的大面積復制轉移。
product
產(chǎn)品分類4英寸納米壓印機主要特點:
該納米壓印機利用紫外曝光或者熱壓固化實現(xiàn)壓印圖案在壓印高分子膠層中的復制,并通過各項功能與過程參量的優(yōu)化與篩選,通過遠程PLC控制系統(tǒng)結合觸摸屏單元,實現(xiàn)納米壓印全過程的實時監(jiān)控與全自動化控制。
4英寸納米壓印機技術參數(shù):
溫度范圍從室溫到250攝氏度; 
壓力范圍從0到300個PSI(對于4英寸晶元); 
紫外曝光系統(tǒng); 
真空范圍從1個標準大氣壓到0.1帕; 
水冷系統(tǒng); 
樣品尺寸直徑zui大4英寸; 
PLC遠程控制,帶觸摸屏; 
手動裝載樣品和模板; 
自帶機器控制軟件; 
在軟件控制下可實現(xiàn)自動增加和釋放壓力; 
可定制更大樣品尺寸或更大壓力系統(tǒng)的納米壓印機。