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產(chǎn)品中心

Product Center

Imprint Nano納米壓印

產(chǎn)品簡介

納米壓印的技術(shù)與工藝特點(diǎn),*性地設(shè)計(jì)和制備工作于低真空環(huán)境下,結(jié)合正負(fù)壓可控調(diào)節(jié)并利用壓縮空氣作為壓印驅(qū)動力的,通過壓力傳導(dǎo)裝置、緩沖與勻壓、壓力調(diào)節(jié)控制裝置等手段實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)可靠可控的壓印過程,借助于多種靈活的自動調(diào)節(jié)裝置的巧妙設(shè)計(jì)與運(yùn)用,實(shí)現(xiàn)壓印中的自動找平調(diào)控,以保證模板納米圖案均勻精確的大面積復(fù)制轉(zhuǎn)移。

產(chǎn)品型號:
更新時(shí)間:2024-06-17
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:3035
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主要特點(diǎn):

該納米壓印機(jī)利用紫外曝光或者熱壓固化實(shí)現(xiàn)壓印圖案在壓印高分子膠層中的復(fù)制,并通過各項(xiàng)功能與過程參量的優(yōu)化與篩選,通過遠(yuǎn)程PLC控制系統(tǒng)結(jié)合觸摸屏單元,實(shí)現(xiàn)納米壓印全過程的實(shí)時(shí)監(jiān)控與全自動化控制。

 

 

技術(shù)參數(shù):

YPL-NIL-SI400納米壓印系統(tǒng):

溫度范圍從室溫到250攝氏度;
壓力范圍從0到300個(gè)PSI(對于4英寸晶元);
紫外曝光系統(tǒng);
真空范圍從1個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓到0.1帕;
水冷系統(tǒng);
樣品尺寸直徑zui大4英寸;
PLC遠(yuǎn)程控制,帶觸摸屏;
手動裝載樣品和模板;
自帶機(jī)器控制軟件;
在軟件控制下可實(shí)現(xiàn)自動增加和釋放壓力;
可定制更大樣品尺寸或更大壓力系統(tǒng)的納米壓印機(jī)。

 

:admin@shnti.com

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